태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스 튜브의 배기 노즐
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2012.12.31 / 2014.8.20 |
| 특허등록번호 | 제 10-1434654호 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스 튜브도어
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2012.12.31 / 2014.8.8 |
| 특허등록번호 | 제 10-1430752호 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스 튜브도어
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2012.12.31 / 2014.6.19 |
| 특허등록번호 | 제 10-1412224호 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 도핑 프로세스튜브의 폐기 응축 장치
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2012.12.31 / 2014.3.5 |
| 특허등록번호 | 제 10-1373314호 |
| 비고 |
반도체 웨이퍼용 소형 열처리 장치
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2009.03.16 / 2011.09.21 |
| 특허등록번호 | 제 10-1068273호 |
| 비고 |
반도체 웨이퍼용 소형 열처리 장치
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2007.10.30 / 2009.12.02 |
| 특허등록번호 | 제 10-0930970호 |
| 비고 |
에스아이오씨 박막 제조용 프리커서를 이용한 박막 형성 방법
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2007.09.14 / 2009.02.12 |
| 특허등록번호 | 제 10-0885632호 |
| 비고 |
에스아이오씨 박막 제조용 프리커서를 이용한 박막 형성 방법
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2007.12.10 / 2009.09.25 |
| 특허등록번호 | 제 10-0920033호 |
| 비고 |
강화유리 제조장치
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2010.01.28 / 2011.10.18 |
| 특허등록번호 | 제 10-1076394호 |
| 비고 |
반도체 웨이퍼용 소형 진공 열처리 장치
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2009.4.17 / 2011.10.12 |
| 특허등록번호 | 제 10-1074843호 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 도핑 열처리 장치
| 출원/등록 | 등록 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2009.5.15 / 2011.12.12 |
| 특허등록번호 | 제 10-1074844호 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 이송장치
| 출원/등록 | 출원 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2014.12.10 / - |
| 특허등록번호 | 10-2014-0177756 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 도핑 히터
| 출원/등록 | 출원 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2014.10.31 / - |
| 특허등록번호 | 10-2014-0150612 |
| 비고 |
태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 히터 이송지그
| 출원/등록 | 출원 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2015.12.29 / - |
| 특허등록번호 | 10-2015-0189081 |
| 비고 |
태양전지 제조용 플라즈마 증착장치
| 출원/등록 | 출원 |
|---|---|
| 출원일/등록일 | 2015.12.29 / - |
| 특허등록번호 | 10-2015-0189077 |
| 비고 |
