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条款:
25
(页数
2
/4)
标题
晶圆掺杂工艺管的排气装置
金属有机化学气相沉积装置的喷嘴单元
金属有机化学气相沉积装置的真空导向件
金属有机化学气相沉积装置的炉体
用于功率半导体超高温热处理工艺设备开发的配备多列板的管嵌入式烧成炉
用于功率半导体超高温热处理工艺设备开发的管嵌入式烧成炉冷却装置
用于沉积设备内均匀供气的供气装置
用于沉积设备内均匀供气的供气装置
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