SolarCell
POCL3 Diffusion
光伏电池业务
POCl3 扩散炉
硅片
- 硅片尺寸 182 ~ 220mm
炉管
- 炉管数量 最多 6 管
设备容量
- 单管装载量 2880 wafer/tube
工艺气体
- 扩散工艺 N2, O2, POCl3
进料系统
- 晶舟进料方式 软 landing 方式
- 桨叶材质 SiC 桨叶
加热器
- 等温区长度 ≥2800mm
- 温度范围 600 ~ 900°C
硬件性能
- 控温稳定性 ≤±0.5°C
- 硅片破损率 ≤0.01%
工艺性能
- 方阻均匀性 ≤±5%
- 方阻范围 100~200Ω/sq
合作伙伴
- 主要客户 LG Solar, KIER, GCL