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웨이퍼도핑 프로세스튜브의 배기장치
유기금속 화학기상 증착장치의 노즐 유닛
유기금속 화학기상 증착장치의 진공 가이드
유기금속 화학기상 증착장치의 퍼니스
전력 반도체용 초고온 열처리 공장 장비 개발에 대한 다열 플레이트가 구비되는 튜브 매립형 소성로
전력 반도체용 초고온 열처리 공정 장비개발에 대한 튜브매립형 소성로용 냉각장치
증착장비 내 균일한 가스 공급을 위한 가스 공급장치[제 10-2623223호]
증착장비 내 균일한 가스 공급을 위한 가스 공급장치[제 10-2359846호]
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