光伏电池业务
低压化学气相沉积炉
硅片
- 硅片尺寸 182 ~ 220mm
炉管
- 炉管数量 最多 6 管
设备容量
- 单管装载量 2880 wafer/tube
工艺气体
- 工艺技术 N2, O2, SiH4, PH3
进料系统
- 晶舟进料方式 悬臂式
- 桨叶材质 SiC 桨叶
加热器
- 等温区长度 ≥2800mm
- 温度范围 500 ~ 700°C
硬件性能
- 控温稳定性 ≤±0.5°C
- 硅片破损率 ≤0.01%
工艺性能
- 均匀性 ≤±5%
- 内建开路电压 (iVoC) ≥735mV
合作伙伴
- 主要客户 LONGi Solar, Chint, JA Solar, KIER REC Solar, SPIC Solar, GCL, LG Solar