光伏电池业务
等离子体增强化学气相沉积炉
硅片
- 硅片尺寸 182 ~ 220mm
炉管
- 炉管数量 最多 6 管
设备容量
- 单管装载量 760 wafer/tube
工艺气体
- 镀膜工艺 N2, SiH4, NH3, N2O
进料系统
- 晶舟进料方式 软 landing 方式
- 桨叶材质 SiC 桨叶
加热器
- 等温区长度 ≥2800mm
- 温度范围 200 ~ 500°C
硬件性能
- 控温稳定性 ≤±0.5°C
- 硅片破损率 ≤0.01%
工艺性能
- 氮化硅 Moore 厚度均匀性 ≤±5%
- 折射率稳定性 ≤±1.5%
合作伙伴
- 主要客户 LG Solar, KIER, GCL, Hanwha Q-CELL, JA Solar